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薄膜干涉检查工件表面平整度(检查表面的平整度薄膜干涉)

来源:互联网    时间:2023-05-08 22:22:52


(资料图片仅供参考)

1、原干涉条纹(左侧对应为尖角位置,实线为亮纹,虚线为暗纹, 且假设第二条亮纹对应的垂直位置上物体表面不平整) : |┊|┊|┊ (2) 检验条纹( 物体表面凸起时)|┊(┊|┊ (3) 检验条纹( 物体表面凹陷时) |┊)┊|┊ 原理大致可以理解为,当物体表面凸起时,被薄膜反射出的两列频率相同的光在同一垂直方向上相干(具体内容就不细说了)。

2、 此时垂直方向上两列相干波的相位差恒定,等于这一位置上下两板距离的两倍。

3、 若这一位置的表面凸起,则可认为此位置上两列波的波程差变小了,因此干涉条纹趋向波程差逐渐减小的尖角方向,也就是左侧(具体现象如上图示) 同理,若凹陷则趋向右。

4、 这是别人的解答.。

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